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多種試驗(yàn)設(shè)計(jì)應(yīng)對(duì)各種污染物

專(zhuān)業(yè)為客戶(hù)提供一站式服務(wù)

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  顆粒物

  
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  有機(jī)污染物

  
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  金屬污染物

  
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  其他化學(xué)物質(zhì)

  

• 平面設(shè)計(jì)系統(tǒng)
• 單臺(tái)結(jié)構(gòu)功能設(shè)計(jì)
• 供排水系統(tǒng)
• 電控系統(tǒng)
• 氣體輸送系統(tǒng)
• 有害氣體輸出系統(tǒng)

SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)介紹

專(zhuān)業(yè)為客戶(hù)提供一站式服務(wù)

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• SEMI F57用于超純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)的聚合物材料及組件的規(guī)范文件。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在UPW分配系統(tǒng)中輸送超純水(UPW)的超高純度(UHP)聚合物材料和組件的最低性能要求。主要針對(duì)聚合物材料和組件的性能要求和驗(yàn)證。

  國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI為半導(dǎo)體制程設(shè)備提供了一系列環(huán)境、安全和衛(wèi)生方面的準(zhǔn)則，適用于所有用于芯片制造、量測(cè)、組裝和測(cè)試的設(shè)備。半導(dǎo)體先進(jìn)制程工藝中使用的超純水，超純化學(xué)品的使用要求日益提高，材料的選擇在半導(dǎo)體濕法工藝中越發(fā)重要，對(duì)含氟聚合物的純度要求也越來(lái)越高。SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)對(duì)UHP液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)(LCDS)中高聚合物材料和組件的選擇、生產(chǎn)過(guò) 程、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等各方面均提出了要求和有效建議。